真空泵。 

   羅茨泵的工作原理 

   羅茨泵在泵腔內(nèi)，有二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上，由傳動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙，可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。由于羅茨泵是一種無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級(jí)泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決

于前級(jí)泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。 

    羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，

在泵腔內(nèi)氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。  

   但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過(guò)排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體排出泵

外。 

   旋片式真空泵工作原理 

   旋片式真空泵（簡(jiǎn)稱旋片泵）是一種油封式機(jī)械真空泵。其工作壓強(qiáng)范圍為101325~1.33×10-2（Pa）屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科

研部門。 

    旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過(guò)高的，對(duì)金屬有腐蝕性的、對(duì)泵油會(huì)起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒

塵埃的氣體。 

    旋片泵是真空技術(shù)中**基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種。所謂雙級(jí)，就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來(lái)。一般多做成雙級(jí)的，以獲得

較高的真空度。  

    旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下：在入口壓強(qiáng)為1333Pa、1.33Pa和1.33×10

-1（Pa）下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。  

    旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵

腔內(nèi)壁滑動(dòng)。 

    兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過(guò)程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過(guò)程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于壓縮過(guò)程。由于空間A的容積是逐漸增大（即膨脹），氣體壓強(qiáng)降低，泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng)，因此將氣體吸入。當(dāng)空間A與吸氣口隔jue時(shí)，即轉(zhuǎn)**空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，**后與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體超過(guò)排氣壓強(qiáng)時(shí)，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過(guò)油箱內(nèi)的油層排**大氣中。由泵的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過(guò)氣道而轉(zhuǎn)入另一級(jí)（低真空級(jí)），由低真空級(jí)抽走，再經(jīng)低真空級(jí)壓縮后排**大氣中，即組成了雙級(jí)泵。這時(shí)總的壓縮比由兩級(jí)來(lái)負(fù)擔(dān)，因

而提高了極限真空度。 

Regen 其實(shí)就是再生，把之前吸附在Cryo Pump（冷凝泵）的兩級(jí)冷頭(Cold Header)上面的氣體排除出去。因?yàn)閏ryo pump是把氣體吸附和冷凝在它的冷頭上，經(jīng)過(guò)一段時(shí)間后，冷頭就會(huì)達(dá)到飽和，它的吸附冷凝的效果就會(huì)大幅度的下降，進(jìn)而chamber里面的壓力就達(dá)不到制程所規(guī)定的要求。所以就是需要進(jìn)行Regen。在半導(dǎo)體工業(yè)中，使用到Cryo pump的主要有兩個(gè)部門，Thin Film 的PVD 還有IMP（離子植入）。PVD是高真空的制程，IMP 則需要在高真空的環(huán)境下產(chǎn)生比較純的離子來(lái)植入到wafer表面。Cryo pump 一般有兩個(gè)冷頭來(lái)吸附不同的氣體，**級(jí)主要是用來(lái)吸附水氣，第二級(jí)要來(lái)吸附氮?dú)猓瑲鍤獾葰怏w不純的雜質(zhì)氣體，但是cryo pump對(duì)小分子量的氣體的吸附能力比較的弱，比如氫氣氦氣就不能完全吸附在冷頭上，所以在第二級(jí)冷頭背后增加了活性炭材料來(lái)吸附這些小分子的氣體。cryo Pump的壓縮機(jī)是使用氦氣來(lái)做熱交換媒介的。cryo pump的型號(hào)，在8寸和12寸的應(yīng)用材料的Endura機(jī)器上有一些差別。主要是12寸的on board 控制器對(duì)cryo pump 中的運(yùn)動(dòng)活塞的速度在做Regen的時(shí)候速度是8寸的兩倍，所以大大的減少了Regen所需要的時(shí)間。 Cryo pump的Regen有兩種Fast Regen 和Full Regen。5 ]8 ) c' [/ Z; h 

Fast regen 就是兩個(gè)冷頭的溫度只是上升到大概150K左右，然后進(jìn)行purge，然后cool down。) x& A& ~" N3 e 

Full regen 就是兩個(gè)冷頭的溫度上升到室溫大概300K左右，然后進(jìn)行Purge，。。。。。然后cool down。