真空泵是利用機械、物理、化學、物理化學等方法對容器進行抽氣，以獲得和維持真空的裝置。真空泵和其他設備（如真空容器、真空閥、真空測量儀表、連接管路等）組成真空系統(tǒng)，廣泛應用于電子、冶金、化工、食品、機械、醫(yī)藥、航天等部門。可用為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵、維持泵、鈦泵的預抽泵用，也可以單獨使用。可用于電真空容器制造、印刷、吸塑、真空焊接、制冷設備維修及儀器儀表設備配套和實驗室等。泵是用各種方法在某

一封閉空間中產生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。隨著真空應用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。極限壓力(極限真空)從粗真空到10-12Pa以上的超高真空范圍。 

    由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。 

    凡是利用機械運動(轉動或滑動)以獲得真空的泵，稱為機械真空泵。機械真空泵按其工作原理及結構特點分述如下：     一、變容真空泵 

    它是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。這種泵分為往復式及旋轉式兩種。     1、往復式真空泵 

    利用泵腔內活塞往復運動，將氣體吸入、壓縮并排出。又稱為活塞式真空泵。     2、旋轉式真空泵 

    利用泵腔內轉子部件的旋轉運動將氣體吸入、壓縮并排出。它大致有如下幾種分類：     1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵內各運動部件之間的間隙，減少泵內有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線真空泵等。 

    2)液環(huán)真空泵 將帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內。當它旋轉時，把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小的旋轉變容吸排氣腔。工作液體通常為水或油，所以亦稱為水環(huán)式真空泵或油環(huán)式真空泵。 

    3)干式真空泵 它是一種泵內不用油類(或液體)密封的變容真空泵。由于干式真空泵泵腔內不需要工作液體，因此，適用于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、制藥工業(yè)及食品行業(yè)等需要無油清潔真空環(huán)境的工藝場合。 

    4)羅茨真空泵泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子。轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。     二、動量傳輸泵 

    它依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸到出口。這類泵可分為以下幾種形式：     1、分子真空泵 

    它是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為： 1)牽引分子泵氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。     2)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。 

    3)復合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復合型的分子真空泵。 

按其工作原理，基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。 

氣體輸送泵包括：1、液環(huán)真空泵（水環(huán)式真空泵）2、往復式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等 

氣體捕集泵包括：吸附泵和低溫泵等。 

目前工業(yè)中應用**多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等。 旋片式真空泵  

用來抽除密閉容器的氣體的基本設備之一。它可以單獨使用，也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。該型泵廣泛應用于冶金、機械、電子、化工、石油、醫(yī)藥等行業(yè)的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過程中。 2XZ型旋片式真空泵  

具有結構緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動小等優(yōu)點。所以，它適用于作擴散泵的前級泵，而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如：質譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍干燥機等。 

XD型旋片式真空泵  

可以在任意入口壓強下工作，已普遍應用于食品的真空包裝，塑料工業(yè)的真空吸塑成形。印刷行業(yè)的紙張輸送，真空夾具，以及真空吸引等。 SZ、SK系列水環(huán)式真空泵 

主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過程中。它主要用來抽除空氣和其它無腐蝕，不溶于水，含有少量固體顆粒的氣體，以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被廣泛應用于機械、制藥、食品、石油化工等行業(yè)中。 2SK、2SK-P1系列雙級水環(huán)式真空泵  

主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。廣泛用于食品、紡織、醫(yī)藥、化工等行業(yè)的真空蒸發(fā)、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結構簡單，使用方便、工作可靠、維護方便的特點。